1.頻率:≥20KHz ，可以分為低頻，中頻，高頻3段。
2.清洗介質(zhì):采用超聲波清洗，一般兩類清洗劑:化學(xué)溶劑、水基清洗劑等。清洗介質(zhì)的化學(xué)作用，可以加速超聲波清洗效果，超聲波清洗是物理作用，兩種作用相結(jié)合，以對物件進(jìn)行充分、徹底的清洗。
3.功率密度:功率密度=發(fā)射功率(W)/發(fā)射面積(cm2)通常≥0.3W/cm2，超聲波的功率密度越高，空化效果越強，速度越快，清洗效果越好。但對于精密的、表面光潔度甚高的物件，采用長時間的高功率密度清洗會對物件表面產(chǎn)生"空化"腐蝕。
4.超聲波頻率:超聲波頻率越低，在液體中產(chǎn)生的空化越容易，產(chǎn)生的力度大，作用也越強，適用于工件(粗、臟)初洗。頻率高則超聲波方向性強，適用于精細(xì)的物件清洗。
5.清洗溫度:一般來說，超聲波在30℃-40℃時的空化效果最好。清洗劑則溫度越高，作用越顯著。通常實際應(yīng)用超聲波時，采用50℃-70℃的工作溫度。
